介質薄膜的電導性質
介質薄膜的電導包括直流電導和交流電導。由于測量介質薄膜電導時必須制作金屬電極，形成金屬一介質一金屬的MIM型結構。所以，只有當電極和介質薄膜是歐姆接觸時所測量的阻抗或電阻才是介質薄膜的阻抗或電阻。按導電載流子性質來分類，介質薄膜的電導分為離子電導和電子電導兩種。按導電載流子的來源又可分為來源于介質薄膜本身的本征電導和來源于雜質及缺陷的非本征電導。
在介質薄膜中的直流電導比塊狀介質材料大得多，其原因是前者含的缺陷和雜質比后者多。在強電場作用下，介質薄膜中的電導包括有電子電導和離子電導。電子電導主要來源于導帶中的電子，其中包括導帶中傳導電子、隧道效應引起的電導、雜質能級電子電導以及介質薄膜與金屬電極界面處的空間電荷等。離子電導有外來的雜質離子和偏離化學計量比造成的離子缺陷等。在弱電場作用下，其電導來源于雜質能級電子電導和離子電導。因為這時介質薄膜導帶中幾乎沒有自由電子，雜質能級電子電導就占主要地位。
